機臺型號：PMT-100（實驗用機）
整機規格：600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
真空室規格：200(W)×200(H)×200(D)mm
電極規格：190 ×150×2層
電源系統：1KW等離子體發生源（可選13.56MHz）
控制系統：觸摸屏+PLC自動控制
進氣(qi)系統(tong)：2路(lu)工作氣(qi)體(ti)可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特(te) 點：高精度，快響應，良好的(de)操(cao)控性(xing)和兼容(rong)性(xing)，完(wan)善(shan)的(de)功能和專(zhuan)業的(de)技術(shu)支持

用 途：適用于印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑(su)膠、聚(ju)合體領域(yu)：硅膠、塑(su)膠、聚(ju)合體的表面(mian)粗化(hua)、刻蝕、活化(hua)